X荧光分析仪器的种类
现在X荧光分析仪器主要分为两大类，一是：波长色散X荧光光谱分析仪；二是：能量色散X荧光分析仪器。这两种仪器的测试原理有所区别，在对样品激发其元素的特征X射线时，两种仪器的设计原理是相同的，在对特征X射线进行探测时，波长波长色散X荧光光谱分析仪，是检测的特征X射线的波长，即，X射线的波长性；而能量色散X荧光分析仪器，检测的是特征X射线的能量，即，X射线的粒子性。两种仪器的设计结构，探测方法有很大的区别。天瑞仪器公司生产的EDX系列X荧光光谱仪器，就是采用了能量色散的原理设计制造。
XRF分析中的专用术语
1.精密度
定义为同一样品多次测定的平均值m和各次测定值mi之差。换句话说，精密度就是重现性（Reproducibility或Repeatability）。X荧光分析 的是和测量的时间有关的，测量的时间越长，则越高。
2.重复性
定义为仪器测同一款样品的连续测试十或二十的相对标准偏差。
3.准确度
定义为各次测定值mi对于真值（t）的偏差。因而，若精密度差，准确度也一定差。反之，准确度很差，精密度确有时很高。这是因为有时可能有系统误差的存在。要想可靠性（Reliability）好，精密度和准确度都要求高。
4.误差
X荧光分析的误差往往是很难计算的，所以，通常情况下，把统计涨落引起的误差作为测量的误差。
5.检出限（Limit of detection）
当获得背景强度标准偏差三倍以上的峰值强度时的元素含量，就称为检出限（或叫检出限）。这时候，测到的含量的置信度（可信的程度）是99.87％.测定检出，一般要用含量比较低的样品来测量。检出限因所用试样（基体）的不同而不同。
6.计数统计误差
在放射性物质的测量中，假设仪器稳定性、机械在现性可确保，由仪器机械产生的误差可以忽略不计，但计数统计误差还是不能消除。X射线强度是把入射到计数器上的光子变成脉冲后计数而得到的。因而计数值在本质上具有统计误差。 被测X射线的计数值（N）的分布属于随机事件，其标准偏差由 N求出。 N就叫统计误差。时间越长，则相对偏差就越小，即就越高。
XRF的五大优点
快速：一般测量一个样品只需要1～3分钟
无损：物理测量，不改变样品性质
：对样品可以分析
直观：直观的分析谱图，元素分布一幕了然
环保：检测过程中不产生任何废气、废水
采用XRF设备应用于有害元素测试中的：
1.分析样品无损、快速，针对未知样品可以快速分析；
2.可采用小型的XRF设备进行便携测试。
3.在保证工作曲线完善和样品前处理的情况下，其测试结果重复性好、准确度高。
4.多元素可同时测试得出结果，可测试元素二十多个以上；
5.可用于生产中的过程内部控制，测试可达到在线、速度快，快速反应生产线等特点。