能散镀层厚度检测仪技术参数
覆层测量范围:3Li(锂)~92U(铀)
成分分析测量范围:13Al(铝)~92U(铀)
X射线管:1、带铍窗口的W靶射线管
2、管 gao 压:5kv—50kv(可调),管电流:50μA—1000μA(可调)
准直器滤光片:五种准直器、四种滤光片 zi 动切换,除标配外可按要求定制其他规格
X射线检测:1、Fast-SDD探测器
2、可同时分析5层以上镀层,并测量24种元素
3、不同层相同元素检测(钕铁硼镀镍铜镍等)
4、分析镀层厚度一般在0~120μm以内(每种材质有所不同)
5、金属镀层分析 zui 薄可0.0025μm
6、RSD≤3%
样品观察:1、gao 分辨率彩色CCD变焦摄像头
2、双激光 ding wei 装置,gao 度激光配合变焦摄像头对焦,放 da 倍数25~200倍
仪器外型尺寸:485(W)×588(D)×505(H)mm
样品室尺寸:430(W)×400(D)×140(H)mm
zui 大移动范围:X/Y轴:100×100mm;Z轴:0~140mm
Z轴行程:140mm
样品 zui 大重量:3kg,降低 jing 度可10kg
X/Y平台移动重复 jing 度:单向≤10μm
样品移动平台:100mmX100mm quan zi 动 gao jing 度多点测试XY移动平台
工作电源:交流220V±5V,建议配置交流净化 wen 压电源
an 全性:双重an 全 ba 护设施:防撞激光检测器与样品室门开闭传感器;待机无辐射,工作时辐射水平远低于 guo ji an 全标准,配软件连动装置