微聚焦X荧光膜厚分析仪
微聚焦X荧光膜厚分析仪多导毛细管聚焦光学系统
X射线管激发出来的X射线在毛细玻璃管的内壁以全反射的方式进行传输，利用毛细玻璃管的弯曲来改变X射线的传输方向，从而实现X射线汇聚。
我司EDX-V型X射线镀层测厚仪采用多导毛细管聚焦光学系统，光斑直径小到微米级，特别适用于晶圆微区、PCB 电路板、芯片针脚等 chao 微小测量点的镀层分析。
微聚焦X荧光膜厚分析仪性能特点
1、zhuan 业化程度高
多通道数字谱图界面，清晰化呈现被检样品的元素谱图
软件具有定性分析、zi 动元素识别功能，方便对样品元素的识别和定性 具有叠加虚谱功能，方便作不同批次样品的定性对比分析
软件具有底材校正、能量校正、强度校正、密度校正等多种校正功能
除了检测镀层厚度以外，还可以检测面密度，以及合金镀层比例和合金成分
2、智能化程度高
开盖自动弹出样品平台
支持多点测试，网格测试
3、操作简单
通过双摄像和双激光点，可快速 ding 位需要测量的区域摇杆与快捷键按钮，快速检测，提升工作效率
4、Jing 准检测
毛细管聚焦光学结构搭配 jing 准ding位平台，聚焦直径小至10um
高分辨率Fast-SDD 探测器可对 chao 薄样品准确分析