电子元器件镀镍铂金测厚仪
电子元器件镀镍铂金测厚仪采用多导毛细管聚焦光学系统,光斑直径小至微米级;采用 chao 短光路系统,
可电动切换的初级滤光片,Quan 景+微区双相机,不仅能展现测试点位细节,也能呈现高清广角视野。
电子元器件镀镍铂金测厚仪仪器性能特点
1、zhuan 业化程度高
多通道数字谱图界面,清晰化呈现被检样品的元素谱图
软件具有定性分析、zi 动元素识别功能,方便对样品元素的识别和定性具有叠加虚谱功能,方便作不同批次样品的定性对比分析
软件具有底材校正、能量校正、强度校正、密度校正等多种校正功能
除了检测镀层厚度以外,还可以检测面密度,以及合金镀层比例和合金成分
2、智能化程度高
开盖自动弹出样品平台
支持多点测试,网格测试
3、操作简单
通过双摄像和双激光点,可快速 ding 位需要测量的区域摇杆与快捷键按钮,快速检测,提升工作效率
4、Jing 准检测
毛细管聚焦光学结构搭配 jing 准ding位平台,聚焦直径可10um
高分辨率Fast-SDD 探测器可对 chao薄样品准确分析
电子元器件镀镍铂金测厚仪技术参数
激发源
X射线管 标准:铍窗Mo靶微聚焦射线管 靶材可选:钨靶
高压单元 管电压:5KV-50KV(可调) 管电流:50uA-1000uA(可调)
初级滤波片 4种可切换:Ni10um;空气;Al1000um;Al500um
X射线光学系统 多导毛细管 标准:φ25um,可选:φ8um、φ15um、中50um
探测器
探测器 电制冷硅漂移半导体探测器(Fast-SDD)
数字多道分析器 分析道数:4096道
元素范围 从铝到铀,可同时测量24种元素
分析层数 可分析五层镀层
检测限 0.001μm
样品定位
视频系统 双激光点位 ding 位系统,辅助 jing 准放置样品十字线,带有经过校准的刻度和测量点; 指示quan 景+微区双相机,光学 jian kong 测量位置
放大倍数 微区测试点图像放大500X
对焦 zi 动对焦
电子元器件镀镍铂金测厚仪特别适用于晶圆微区、PCB 电路板、芯片针脚等 chao 微小测量点的镀层分析。