电子元器件镀镍铂金测厚仪

电子元器件镀镍铂金测厚仪采用多导毛细管聚焦光学系统,光斑直径小至微米级;采用 chao 短光路系统,

可电动切换的初级滤光片,Quan 景+微区双相机,不仅能展现测试点位细节,也能呈现高清广角视野。

1735006175362(1).jpg

电子元器件镀镍铂金测厚仪仪器性能特点


1、zhuan 业化程度高

多通道数字谱图界面,清晰化呈现被检样品的元素谱图

软件具有定性分析、zi 动元素识别功能,方便对样品元素的识别和定性具有叠加虚谱功能,方便作不同批次样品的定性对比分析

软件具有底材校正、能量校正、强度校正、密度校正等多种校正功能

除了检测镀层厚度以外,还可以检测面密度,以及合金镀层比例和合金成分

2、智能化程度高

开盖自动弹出样品平台

支持多点测试,网格测试

3、操作简单

通过双摄像和双激光点,可快速 ding 位需要测量的区域摇杆与快捷键按钮,快速检测,提升工作效率

4、Jing 准检测

毛细管聚焦光学结构搭配 jing 准ding位平台,聚焦直径可10um 

高分辨率Fast-SDD 探测器可对 chao薄样品准确分析

维护简单.jpg

电子元器件镀镍铂金测厚仪技术参数

激发源

X射线管          标准:铍窗Mo靶微聚焦射线管    靶材可选:钨靶

高压单元         管电压:5KV-50KV(可调)        管电流:50uA-1000uA(可调)

初级滤波片       4种可切换:Ni10um;空气;Al1000um;Al500um

X射线光学系统   多导毛细管    标准:φ25um,可选:φ8um、φ15um、中50um

探测器

探测器             电制冷硅漂移半导体探测器(Fast-SDD)

数字多道分析器     分析道数:4096道

元素范围          从铝到铀,可同时测量24种元素

分析层数           可分析五层镀层

检测限             0.001μm

样品定位

视频系统           双激光点位 ding 位系统,辅助 jing 准放置样品十字线,带有经过校准的刻度和测量点;                         指示quan 景+微区双相机,光学 jian kong 测量位置

放大倍数           微区测试点图像放大500X

对焦                 zi 动对焦

电子元器件测试.jpg

电子元器件镀镍铂金测厚仪特别适用于晶圆微区、PCB 电路板、芯片针脚等 chao 微小测量点的镀层分析。